전자 산업 플라즈마 식각, 반응 챔버의 세정 및 온도 조절을 위해 불소화합물을 사용 세정가스로는 CF4, C2F6, C3F8, C4F6 등이 있음 부산물은 CF4, C2F6, CHF3, C3F8 이 있음 가. 제조 공정의 이해 1) 웨이퍼 제조 공정 : 실리콘 원석에서 웨이퍼 제작 단결정 성장 -> 절단 -> 경면연마 -> 세척 및 검사 단결정 성장 : 고진공 상태에서 섭씨 1400도 이상의 고온에 녹은 폴리 실리콘은 정밀하게 조절되는 조건하에서 큰 직경을 가진 단결정봉으로 성장 절단 : 실리콘 단결정봉을 웨이퍼를 얇은 슬라이스로 변형시키는 공정 경면연마 : 웨이퍼를 평탄하고 결함이 없도록 만드는 공정 세척 및 검사 : 경면연마 과정을 거친 웨이퍼의 표면에 있는 오염물을 제거 및 검사 2) 웨이퍼 가공공..