- 지구온난화지수(GWP)가 제시되지 않은 FC가스(C4F6, C5F8, C4F8O 등)의 사용에 따른 배출량 산정 ․ 보고 ☞ 공정 중 투입가스의 지구온난화지수(GWP)가 제시되지 않은 경우, 투입가스의 사용량 및 발생하는 부생가스(CF4, C2F6 등)의 배출량을 산정 ․ 보고해야 함
매개변수별 관리기준
- 활동자료
○ 배출량 산정 방법론 산정등급 Tier2a/2b인 경우 시설규모 상관없이 활동자료 산정등급 Tier1 적용 불가 ☞ Tier2a/2b 산정식에서의 활동자료는 사업장별 제품 생산량이 아니라, FC 가스 사용량 등이 활용되기 때문
- 반도체/디스플레이/PV 생산 부문 - Tier 1 산정방법론의 배출계수
- 반도체/디스플레이/PV 생산 부문 - Tier 2a 산정방법론의 배출계수
- 반도체/디스플레이/PV 생산 부문 - Tier 2b 산정방법론의 배출계수
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- 열전도 유체 부문의 배출계수
○ 배출제어기술 적용에 따른 FC가스 저감효율(d)의 IPCC 기본 배출계수(Tier 1) - 저감효율(d)의 IPCC 기본 배출계수(0.9/0.6) 적용시 근거자료를 제시하여 CF4의 저감효율 값이 85% 이상, N2O의 저감 효율 값이 60% 이상, 그 외 가스의 저감효율 값이 90% 이상인 근거를 제시할 수 있는 경우 기본계수를 적용가능(이행년도별 저감효율 증빙자료 근거를 1회 이상 제시해야 함)
- 사업장 고유배출계수(Tier 3) 개발 가이드라인을 참고하여 저감효율 값의 근거자료를 제출하며, 부피분율의 산정 근거도 함께 제출해야 함 ※ 저감효율()의 IPCC 기본 배출계수(0.9) 외 저감효율 값(예 : 0.7, 0.99)을 적용하고자 할 경우, 사업장 고유배출계수 (Tier 3) 개발 가이드라인을 참고하여 저감효율(d) 및 부피분율(a)의 산정 근거를 제출해야 함 - 배출제어기술 유형 ∙ 분해(Destruction): 온실가스의 배출을 저감하기 위한 목적으로 설치된 설비(Plasma-wet, Burn-wet, Heat-wet, Catalyst-wet 등)에 의해 온실가스가 파괴 ․ 분해되었을 경우 적용 가능 ∙ 회수/재생(Capture/Recovery) : 맴브레인의 분리, 극저온 회수(cryogenic recovery), PSA(pressure swing adsorption) 방법 등을 이용. Wet, Dry 방법과 같이 임시 흡착(capture)으로 온실가스를 제거할 경우, 흡착 후 회수 및 재사용(recovery)함을 증빙해야 함
배출량 산정 예시
(주)환경전자는 반도체를 생산하는 업체이다. 반도체 생산공정에서 사용되는 가스는 식각공정에서 C2F6, 화학기상증착공정(CVD)에서 CF4, N2O 가스를 사용한다. 투입가스 및 부생가스의 세부적인 매개변수별 적용 값은 STEP 6. 매개변수별 관리기준을 참고하며, (주)환경전자의 온실가스 배출량 산정방법은 다음과 같다.
STEP 2 : 시설규모의 결정 방법 (주)환경전자는 기존에 증착시설의 온실가스 배출량을 명세서에 보고하였다. 따라서 매년 1월 1일을 기준으로 최근에 제출된 명세서의 해당시설 온실가스 배출량에 따라 시설규모를 결정하여야 한다. 단, 최근에 제출된 명세서의 온실가스 배출량보다 최근에 제출된 3개년도 명세서의 평균 배출량이 큰 경우, 최근에 제출된 3개년도 명세서의 평균 배출량에 따라 시설규모를 결정한다.
STEP 3 : 배출량에 따른 시설규모 분류 (주)환경반도체의 증착시설은 온실가스를 연간 229,811tCO2-eq 배출하여 연간 5만 톤 이상 50만 톤 미만이기 때문에 시설규모는 B그룹이다.
STEP 4 : 배출활동별 및 시설규모별 산정등급(Tier) 최소 적용기준 (주)환경전자의 증착시설은 식각과 증착공정의 구분이 가능한 B규모 배출시설이기 때문에 배출량 산정방법론은 Tier 2b를 적용한다. 매개변수의 경우 활동자료인 투입가스(C2F6, CF4, N2O) 사용량은 Tier 2를 적용하고, 국가 고유 배출계수가 제시되지 않은 Bombe잔류율(h), 가스사용비율(U), 부생가스 배출계수(B)는 Tier 1(IPCC 기본계수)을 사용한다. (주)환경전자는 FC가스 저감을 위한 Burn-wet유형의 온실가스 저감시설을 보유하고 있으며, 배출량 산정시 저감효율(d)을 반영하기 위해 저감효율(d)에 Tier 1, 부피분율(a)에 Tier 3를 적용한다.
STEP 5 : 보고대상 가스 (주)환경전자는 아래와 같이 온실가스를 산정하여 보고하여야 한다.
STEP 6 : (주)환경전자의 반도체 생산에 적용된 Tier 2b 산정방법론 - 배출량 산정방법론
